奈米級濕製程良率必備!

即時流體微汙染檢測

全面掌握微奈米粒子數據,建立完整產線運行履歷


 

【邑流優勢】

半導體邁入3奈米、2奈米製程,零件清洗的製程當中,去離子水 /化學液的純淨度至關重要。任何微汙染都會影響良率與產能。

邑流微測FlowVIEW採用先端雷射感測技術,搭配客製化多通管路,研發半導體奈米級濕製程「線上多通道粒子檢測系統」。

  • 直接整合至產線營運中機台
  • 24 小時自動化多點位分析
  • 即時回傳有效數據
  • 監控微奈米粒子數量變化
  • 掌握水質與處理槽系統狀態
  • 提升清洗製程的效率

#適用水質、化學液、研磨液等多數液態/流體溶液,歡迎洽詢。



量測規格

效益評估


缺陷預判

自動示警,微奈米粒子出現微汙染狀況,潔淨程度達警示標準,可提前更換濾心,預防產品出現狀況。



最佳化建議

智慧化交叉比對濾心尺寸、壽命、保養週期,評估製程潔淨度。並提供最佳化建議。



建立穩定製程標準

產線機台之清潔維持穩定的製程標準,確保此一製程不會成為客戶highlight的一環



 

【產業應用】

  • 進出料檢測
    有效監控 In-line 進料過程是否發生微汙染情形,確保原物料從源頭至產線端皆維持最高規格的潔淨品質。
  • 產線檢測
    協助產線使用者即時監控成分及尺寸異常、分散及團聚性。
  • 廢料檢測
    AI 智慧分析軟體,自動化產出廢料/廢水中的粒子成分、尺寸等重要參數。

    #此項檢測服務廣受國內外半導體大廠青睞,也逐漸受到生醫製藥與能源電池產業的矚目。



合作夥伴

創新 技術
臨場電子顯微鏡套件
獨家奈米級晶片系統,結合微流體控制與系統整合,突破過去電子顯微鏡瓶頸。可直接臨場觀測原始級、奈米級液態樣品,甚至是活體細胞。解析度最高可達7nm!
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