Flow AOI液態檢測解決方案

提升零件清洗製程的效率&良率



Flow AOI 即時流體微汙染檢測

品質和良率一向是台灣半導體以及製造業者最重視的課題。在半導體零件清洗製程中,去離子水的潔淨度對於良率而言至關重要。然而目前技術卻還是很難做到多點位濕製程材料的即時性臨場監測。



產業痛點

「耗費預算&人力成本,無法作後續歷史資料追蹤」

  不論哪個產業,品質絕對是業者和消費者皆很在意的環節之一。尤其是半導體以及製造業產業鏈。隨著線圈愈作愈小,半導體零件清洗製程中,去離子水的潔淨度對於良率而言至關重要。然而目前技術卻還是很難做到多點位濕製程材料的即時性臨場監測。

  若工廠端要同時進行多點量測,往往需耗費大量預算或人力成本。再者,現行相關檢測技術僅能記錄液體中是否有異物或異常等瑕疵,無法進一步協助使用者建立生產品質履歷,作後續歷史資料追蹤,更遑論比對良率與製程液體汙染物之關聯性。


邑流應用


有效提升零件清洗製程的效率&良率

基於現行的檢測瓶頸,我們瞭解多點位即時監測的對於產能與良率的重要性。為滿足國內半導體封裝大廠需求,邑流微測運用最新雷射感測技術,彙整精密多通流道,以1µm的靈敏度搭配每分鐘30ml流速, 提供24小時不間斷分析監測即時回傳相關數據。 

使用者可依據產線需求,直觀判讀微粒子數量的變化、有效監控水質與處理槽系統的狀態等,不僅有效提升零件清洗製程的效率,更有助於達到提升良率之效果,加上多點位整合系統可大幅降低設備成本,絕對是汙染管控的最佳解決方案。

線上多通道微奈米粒子檢測

邑流微測FlowVIEW採用先端雷射感測技術,搭配客製化多通管路,研發半導體奈米級濕製程「線上多通道粒子檢測系統」。

  • 直接整合至產線營運中機台
  • 自動化多點位分析
  • 24 小時即時回傳有效數據
  • 監控微奈米粒子數量變化
  • 掌握水質與處理槽系統狀態
  • 提升清洗製程的效率

#適用水質、化學液、研磨液等多數液態/流體溶液,歡迎洽詢。


邑流技術驗證


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